Hồ sơ khách hàng
Một công ty bán dẫn không sản xuất sản phẩm đang thuê ngoài sản xuất chip nút tiên tiến.Phòng sạch hiện tại của họ không thể đáp ứng các yêu cầu về độ rung và độ tinh khiết không khí nghiêm ngặt cho phép ngâm lithography 193nm., gây mất năng suất.
Nhu cầu và thách thức
·ISO Class 5 (Class 100) ở bề mặt wafer.
·Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ: 22 ± 0,1 °C qua khu vực quang thạch.
·Thời gian ngừng hoạt động ngắn: Chỉ có 1 tháng để trang bị lại khoang hiện có.
Giải pháp
·Thiết kế môi trường nhỏ: cô lập stepper với các đơn vị bộ lọc quạt (FFU) cộng với các bộ lọc hóa học cho AMC. đạt được ISO 4 bên trong bao bì công cụ.
·Phân biệt rung động hoạt động: Khối quán tính bê tông + các bộ cách ly khí nén để đáp ứng các tiêu chí VC-D.
·HVAC chính xác cao: Chuỗi nước lạnh kép với sưởi ấm lại, cộng với các đầu cuối khối lượng không khí biến động (VAV).
·Các tấm đúc sẵn: Các tấm thép không gỉ được sản xuất bên ngoài trang web với các khớp khóa cam. Được lắp đặt trong một thời gian ngừng bảo trì theo kế hoạch
Phản hồi của khách hàng
Yaning hiểu các yêu cầu công cụ của chúng tôi tốt hơn các nhà thầu phòng sạch khác.
¢ Quản lý cơ sở, khách hàng bán dẫn
Tóm lại
Yaning chuyên về kỹ thuật phòng sạch. Chúng tôi tận tâm tạo ra môi trường sản xuất sạch trực tiếp tăng hiệu quả sản xuất.Các giải pháp mô-đun của chúng tôi là sự lựa chọn lý tưởng cho các khu vực sản xuất sạch trong lĩnh vực sản xuất.
