Quạt sẽ hút và kéo không khí đến bộ lọc HEPA (bộ lọc HEPA H14), nơi thu giữ bụi và các hạt. Không khí đã lọc HEPA sẽ được phân phối theo dạng một chiều vào khu vực làm việc. Luồng không khí đi xuống sẽ mang theo bụi phát sinh trong quá trình xử lý bột vào bộ lọc sơ bộ. Sau khi lọc sơ bộ, không khí sẽ đi qua bộ lọc mịn (bộ lọc F8) và thường được tuần hoàn lại. + Không khí đã lọc HEPA được chia thành 2 phần. -90% không khí đi qua bộ khuếch tán và tạo thành luồng tầng dọc vào khu vực làm việc -10% không khí đã lọc HEPA được xả ra khỏi buồng thông qua cửa thoát khí để duy trì khu vực làm việc dưới áp suất âm, giảm thiểu sự cố ô nhiễm trong không khí